 |
Duży producent półprzewodników potrzebował czujnika rezystywności,
który przewyższałby wydajność obecnie dostępnych urządzeń. Wspólnie
z METTLER TOLEDO Thornton pracował nad czujnikiem, który wyznacza nowy standard w pomiarze rezystywności.
Aby zwiększyć wydajność produkcji producent musiał zastosować poziom rezystywności, stabilności pomiaru i dokładności znacznie przewyższający obecne normy branżowe. W celu znalezienia rozwiązania nawiązano współpracę z METTLER TOLEDO.
Rezultatem jest UPW UniCond(TM), czujnik rezystywności ze znacznie lepszą kompensacją temperatury, stabilnością sygnału i izolacją środowiskową
niż wcześniej dostępne.
Opierając się na bardzo udanych wynikach testów, producent zaakceptował UPW UniCond jako nowe rozwiązanie do pomiaru rezystywności i określił, że wszystkie swoje zakłady na całym świecie będą używały nowych czujników podczas modernizacji lub projektowania nowych fabryk.
W tym studium przypadku przyjrzymy się testom przeprowadzonym przez producenta i ich wynikom.
Ponieważ szerokości linii półprzewodników nadal się zawężają, potrzeba zwiększenia jakości wody ultraczystej będzie rosła w celu utrzymania wysokiej wydajności płytek.
Większość czujników rezystywności zapewnia dokładność pomiaru +/- 1%. Obecnie poziomy ustanowione przez SEMI F63 mieszczą się w tym zakresie błędów.
Ten poziom niepewności może być akceptowalny dla niektórych procesów, ale nie pomaga producentom półprzewodników zaspokoić potrzeb w zakresie produkcji technologii nowej generacji. UPW UniCond to jedyny dostępny czujnik rezystywności, który jest w stanie osiągnąć ≥0,5% dokładności z kompensacją temperatury.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Czujnik przewodności")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Przetwornik")